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洁净搬送、存储、调度与核心部件,按应用场景查找产品。

32 项产品

显示面板装备

半导体装备

OC Stocker

OC Stocker

面向半导体大硅片行业,完成Open Cassette载具的自动化搬运与存储。

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成品 Stocker

成品 Stocker

用于半导体封测工厂成品出货仓,支持双伸位、背篓式取放及双层滚筒线对接。

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EFEM

EFEM

晶圆前端传输设备,为各类制程设备提供晶圆上下料配套。

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AGV-OW8

AGV-OW8

采用SLAM激光导航,支持工艺设备与缓存单元柔性对接以及MES信息联机。

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AGV-OW12

AGV-OW12

面向洁净场景的协作搬送设备,采用SLAM激光融合导航及多传感器安全配置。

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软件与核心部件

产品参数用于初步选型,具体规格及定制要求以项目技术协议为准。

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