产品介绍
- 半导体制程中被使用来保护、运送、并储存晶圆的一种容器。
- 振动值≤0.5G
- 独立单元运行
- 洁净等级百级或千级
技术参数
| 供电方式 | AC220V |
|---|---|
| 最大负载 | 20kg |
| 驱动方式 | 无刷电机 |
| 行走运动 | 同步轮同步带 |
| 行走速度（max） | 0.4m/s |
| 无尘等级 | Class100-1000 |
| 振动 | ≤0.5G |
| 直线CV | |
| 旋转方式 | DD马达 |
| 旋转时间（max）90°/s | |
| 旋转CV | |
| 驱动方式 | 无刷电机 伺服电机 滑台电缸 |
| X轴行走速度（max） | 0.25m/s |
| CV速度（max） | 0.4m/s |
| Z轴速度（max） | 0.05m/s |
| OHT load port 对接CV | |
| 驱动方式 | 无刷电机 滑台电缸 |
| OP 对接CV | |
以上为产品选型资料，实际规格以项目技术协议为准。
